• カップリング
  • オルダムタイプ

MOHS-19C-6-8

クリーン・真空・耐熱対応カップリング - オルダムタイプ(ベスペル) - クランピングタイプ

Oldham-type Flexible Coupling - VESPEL

  • クリーン仕様
  • 高温仕様

形状図

MOHS-Cクリーン・真空・耐熱対応カップリング - オルダムタイプ(ベスペル) - クランピングタイプ寸法図

寸法・CAD・価格

単位 : mm

品番 A L W E F G M ねじ締めつけ
トルク(N・m)
価格
(円)
CAD
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MOHS-19C-6-8 19 7 22.1 10 3.5 6.5 M2.5 0.5 22,900 CAD カート 在庫品

品番 最大軸穴径
(mm)
常用トルク
(N・m)*1
最大トルク
(N・m)*1
最高回転数
(min-1)
慣性
モーメント
(kg・m2)*2
静的ねじり
ばね定数
(N・m/rad)
許容偏心
(mm)
許容偏角
(°)
質量
(g)*2
MOHS-19C-6-8 8 0.4 0.8 900 1.4×10-6 160 1.3 2 28

*1: 負荷変動による常用トルク・最大トルクの補正は必要ありません。詳しくは選定手順をご参照ください。
*2: 最大軸穴径での値です。

構造

クランピングタイプ

MOHS-C MOHS-C MOHS-SPCR

MOHS-C_Cクリーン・真空・耐熱対応カップリング- オルダムタイプ(ベスペル)


材質・仕上げ

MOHS-C
ハブ SUS303
スペーサ ベスペル*1
六角穴付きボルト SUSXM7
二硫化モリブデンコーティング

*1: VESPELおよびベスペルはデュポン社の登録商標です。
色はロットなどにより変化することがあります。


特長

  • 特性
MOHS-C
低パーティクル
真空対応
低アウトガス
耐熱
耐薬品
許容ミスアライメント
電気絶縁性
クリーン
使用可能温度 -20℃~200℃

◎:非常にすぐれている ○:すぐれている
△:摩耗粉が発生する可能性あり

  • オルダムタイプのフレキシブルカップリングです。
  • クリーン洗浄・クリーン梱包済み。FPD製造装置など、耐熱・耐薬品性が必要な環境やクリーンルームで使用できます。
  • スペーサにベスペルSPC5000を採用。
    耐熱・耐薬品性にすぐれており、高温下でのアウトガスが極微量です。
  • ハブとスペーサがスリップすることにより、偏心・偏角を許容します。
  • ミスアライメントにより発生する軸荷重が小さく、軸への負担を軽減します。

用途

FPD製造装置/半導体製造装置

使用上の注意

Dカット軸に取りつける場合は、軸のDカット面の位置に注意してください。⇒取り付け・メンテナンス
カップリングの外径から六角穴付きボルトが飛び出して、回転直径が外径より大きくなるサイズがあります。カップリングの干渉に注意してください。


アウトガスの分析

単位 : (v/v ppm)

成分 含有量
無機ガス 水素 500以下
一酸化炭素 500以下
二酸化炭素 500以下
有機ガス メタン 5以下
エタン 5以下
エチレン 5以下
プロパン 5以下
アセチレン 5以下
i-ブタン 5以下
n-ブタン 5以下
プロピレン 5以下

無機ガス・有機ガスのいずれも定量下限以下で、検出されません。

  • 測定方法
    無機ガス----ガスクロマトグラフ法(TCD)
    有機ガス----ガスクロマトグラフ法(FID)
  • 測定条件
    加熱温度----100℃

MOHS-C_Tテクニカル・インフォメーション


スペーサの突起構造

スペーサの突起構造が大きな偏角を無理なく許容。軸への負担を軽減します。

MOHS-C_Cクリーン・真空・耐熱対応カップリング- オルダムタイプ(ベスペル)

スペーサに突起のないオルダムタイプカップリングでは、スペーサとハブが外径付近で干渉するため、許容偏角が小さく(1°-1.5°)、また、軸に曲げモーメントが発生します。
NBKのオルダムカップリングは、突起が支点となり、容易に偏角を許容。曲げモーメントが発生しません。このため、許容偏角が大きく(2°)、また軸への負担を軽減します。


偏心反力

ハブとスペーサの初期スリップ荷重値です。
なじみ運転後にスリップ荷重は小さくなり、ミスアライメントにより発生する軸荷重が低下し、軸受などへの負荷が軽減します。

MOHS-C_Tテクニカル・インフォメーション


温度による静的ねじりばね定数の変化

20℃における静的ねじりばね定数を100%とした場合の値です。
MOHS-Cは温度による静的ねじりばね定数の変化が少なく応答性の変化は極小です。ただし、高温下でのご使用にあたっては熱膨張に伴う軸の伸びやたわみによるミスアライメントに注意してください。

MOHS-C_Tテクニカル・インフォメーション


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