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SCAP-AL
カバーキャップ
Cover Cap
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形状図
寸法・CAD・価格
単位 : mm
| 品番 | M | H | D1 | h | a | ta | 推奨 締めつけトルク (N・m) |
適用カバー キャップ用ボルト SNCPS |
1袋入り数 | 質量 (g) |
価格 (円/袋) |
CAD | 袋入り(袋) | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCAP-3-AL | 5×0.5 | 5 | 7 | 2 | 0.8 | 0.6 | 0.1 | SNCPS-M3 | 1 | 0.4 | 420 | CAD | カート | - |
| SCAP-4-AL | 6×0.75 | 7 | 8 | 2.8 | 1.2 | 1 | 0.15 | SNCPS-M4 | 1 | 0.6 | 420 | CAD | カート | - |
| SCAP-5-AL | 8×0.75 | 8 | 10 | 3.5 | 1.2 | 1 | 0.3 | SNCPS-M5 | 1 | 1 | 420 | CAD | カート | - |
| SCAP-6-AL | 10×0.75 | 9 | 12 | 4 | 1.6 | 1.2 | 0.4 | SNCPS-M6 | 1 | 1.5 | 460 | CAD | カート | - |
| SCAP-8-AL | 12×1 | 11 | 14 | 5 | 2 | 1.8 | 0.6 | SNCPS-M8 | 1 | 2.3 | 470 | CAD | カート | - |
| SCAP-10-AL | 16×1 | 12 | 18 | 6 | 2.5 | 2 | 0.8 | SNCPS-M10 | 1 | 3.7 | 480 | CAD | カート | - |
材質・仕上げ
| SCAP-AL カバーキャップ |
|
|---|---|
| 本体 | A5056 |
用途
成膜装置/エッチング装置/FPD製造装置/半導体製造装置特長
- カバーキャップSCAPとカバーキャップ用ボルトSNCPSを組み合わせて使用してください。
- 真空チャンバー内の処理ガスやプラズマからボルト頭部の腐蝕を防止します。
-
SCAPはアルミ合金製とセラミック製を標準化。
SCAP-AL----アルミ合金製
SCAP-CE----セラミック製 - ねじ締結部はステンレス製のため、アルミやセラミックのねじと比べて高い締めつけ力が得られます。
- クリーン洗浄・クリーン梱包済み。⇒クリーン洗浄・クリーン梱包サービス
- インコネル＊1・ハステロイ＊1など、ご希望の材質のカバーキャップも製作いたします。
＊1： インコネルはスペシャルメタルズ社の登録商標です。
＊1： ハステロイはヘインズ社の登録商標です。
使用上の注意
耐蝕性は使用条件により変化します。事前に必ず実際と同じ使用条件でテストしてください。使用方法
カバーキャップ用ボルトSNCPSを締めつけた後、カバーキャップSCAPをSNCPSの頭部をカバーするように取りつけてください。SCAPの締めつけトルクは、表中の推奨締めつけトルクを超えないようにしてください。
●NBKウェブサイトに記載の寸法・形状その他の規格は改良のため予告なく変更することがあります。
●NBKウェブサイトに記載の商品の不具合によって発生した損害については、損害を発生させた商品のご購入代金を補償の上限とさせていただきます。
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