公開日：2020年05月10日
サイクルタイムを短縮したい【生産性向上】
高速でもなめらかに衝撃吸収できるショックアブソーバがあります
ウェハ研磨装置
基盤吸着用ローダ部の降下時の衝撃吸収用のショックアブソーバを高性能ショックアブソーバに変更することで、降下速度を高速化してもなめらかな衝撃吸収が可能となり、サイクルタイムを短縮できます。
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