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SCAP-CE

カバーキャップ

Cover Cap

  • 真空
  • クリーン

形状図

SCAP-CEカバーキャップ寸法図

寸法・CAD・価格

単位 : mm

品番 M H D1 h B tB 推奨
締めつけトルク
(N・m)
適用カバー
キャップ用ボルト
SNCPS
1袋入り数 質量
(g)
価格
(円/袋)
CAD 袋入り(袋) 備考
SCAP-3-CE 5×0.5 6 9 2 7 3 0.1 SNCPS-M3 1 1.2 3,200 CAD カート -
SCAP-4-CE 6×0.75 8 10 2.8 8 3 0.15 SNCPS-M4 1 2 3,350 CAD カート -
SCAP-5-CE 8×0.75 9 12 3.5 9 3 0.3 SNCPS-M5 1 3 3,660 CAD カート -
SCAP-6-CE 10×0.75 10 14 4 11 4 0.4 SNCPS-M6 1 4.3 4,120 CAD カート -
SCAP-8-CE 12×1 11 16 5 13 4 0.6 SNCPS-M8 1 5.8 4,730 CAD カート -
SCAP-10-CE 16×1 12 20 6 17 4 0.8 SNCPS-M10 1 9.2 5,350 CAD カート -


材質・仕上げ

SCAP-CE
カバーキャップ
本体 Al2O3
(アルミナ99.5%)

用途

成膜装置/エッチング装置/FPD製造装置/半導体製造装置

特長

  • カバーキャップSCAPとカバーキャップ用ボルトSNCPSを組み合わせて使用してください。
  • 真空チャンバー内の処理ガスやプラズマからボルト頭部の腐蝕を防止します。
  • SCAPはアルミ合金製とセラミック製を標準化。
    SCAP-AL----アルミ合金製
    SCAP-CE----セラミック製
  • ねじ締結部はステンレス製のため、アルミやセラミックのねじと比べて高い締めつけ力が得られます。
  • クリーン洗浄・クリーン梱包済み。⇒クリーン洗浄・クリーン梱包サービス
  • インコネル*1・ハステロイ*1など、ご希望の材質のカバーキャップも製作いたします。

*1: インコネルはスペシャルメタルズ社の登録商標です。
*1: ハステロイはヘインズ社の登録商標です。


使用上の注意

耐蝕性は使用条件により変化します。事前に必ず実際と同じ使用条件でテストしてください。

使用方法

カバーキャップ用ボルトSNCPSを締めつけた後、カバーキャップSCAPSNCPSの頭部をカバーするように取りつけてください。
SCAPの締めつけトルクは、表中の推奨締めつけトルクを超えないようにしてください。

SCAP-CEカバーキャップ


関連商品

耐薬品にすぐれたPTFE(テフロン)製のカバーキャップSCAP-PTがあります。
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SCAP-CEカバーキャップ


商品品番一覧

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