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SCAP-5-AL

カバーキャップ

Cover Cap

  • 真空
  • クリーン

形状図

SCAP-ALカバーキャップ寸法図

寸法・CAD・価格

単位 : mm

品番 M H D1 h a ta 推奨
締めつけトルク
(N・m)
適用カバー
キャップ用ボルト
SNCPS
1袋入り数 質量
(g)
価格
(円/袋)
CAD 袋入り(袋) 備考
SCAP-5-AL 8×0.75 8 10 3.5 1.2 1 0.3 SNCPS-M5 1 1 420 CAD カート -


材質・仕上げ

SCAP-AL
カバーキャップ
本体 A5056

用途

成膜装置/エッチング装置/FPD製造装置/半導体製造装置

特長

  • カバーキャップSCAPとカバーキャップ用ボルトSNCPSを組み合わせて使用してください。
  • 真空チャンバー内の処理ガスやプラズマからボルト頭部の腐蝕を防止します。
  • SCAPはアルミ合金製とセラミック製を標準化。
    SCAP-AL----アルミ合金製
    SCAP-CE----セラミック製
  • ねじ締結部はステンレス製のため、アルミやセラミックのねじと比べて高い締めつけ力が得られます。
  • クリーン洗浄・クリーン梱包済み。⇒クリーン洗浄・クリーン梱包サービス
  • インコネル*1・ハステロイ*1など、ご希望の材質のカバーキャップも製作いたします。

*1: インコネルはスペシャルメタルズ社の登録商標です。
*1: ハステロイはヘインズ社の登録商標です。


使用上の注意

耐蝕性は使用条件により変化します。事前に必ず実際と同じ使用条件でテストしてください。

使用方法

カバーキャップ用ボルトSNCPSを締めつけた後、カバーキャップSCAPSNCPSの頭部をカバーするように取りつけてください。
SCAPの締めつけトルクは、表中の推奨締めつけトルクを超えないようにしてください。

SCAP-ALカバーキャップ


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