公開日:2022年09月20日

第7回 "ヒートサイクルについて"

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多くの半導体製造装置でヒートサイクルの課題があります。

半導体製造装置メーカ様向け商品を集めました。

ヒートサイクルとは

半導体製造装置の内部は、装置により500~1000度の高温になるものがあります。
イオン注入装置のイオン発生源や、露光装置の光源など。
また、成膜装置やエッチング装置なども、ウェハを処理する際には200~400度まで上がるものもあります。

このような装置において、温度変化をくり返すことをヒートサイクルと言います。

ヒートサイクルのイメージ

NBKには高温環境・ヒートサイクルの対策で使用できるねじがあります。

<高温環境>
高温環境でもご使用いただけるねじがあります。
タングステンは融点3683℃、純モリブデンは融点2623℃と高融点材料です。
その他の材質については、お問い合わせください。
  SNCW_index  SNSI_ind SNSM_ind SICX-SX_index SCX-C_ind SPD-C_ind
材質 タングステン タンタル インコネル 純モリブデン 炭化ケイ素(SiC) Al2O3 (アルミナ99.5%) ベスペル SP-1
代表品名 すりわり付きチーズ小ねじ(タングステン) 六角穴付きボルト(タンタル) 六角穴付きボルト(インコネル相当) モリブデン六角穴付きボルト すりわり付き平小ねじ(炭化ケイ素) セラミックボルト 樹脂ねじ(ベスペルSP-1 / 六角穴付きボルト)
代表品番 SNCW SNSTA SNSI SNSM SICX-SX SCX-C SPD-C
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<高温+真空環境>
耐熱の素材に真空装置用ガス抜き穴加工を施しています。
  SVSI_index SVSM_index
材質 インコネル 純モリブデン
代表品名 六角穴付きボルト(インコネル相当 / ガス抜き穴つき) モリブデン六角穴付きボルト(ガス抜き穴つき)
代表品番 SVSI SVSM

<かじり防止>
ヒートサイクル環境下、かじり・焼きつきにくいねじがあります。
  SNSL-PN_ind SVSL-PN_index SNSS-MO_ind SNSS-RY_ind SNSS-TF_ind SNSS-AUS_ind SNSS-FC_ind
材質 SUS316L SUS316L SUSXM7 (SUS304相当) SUSXM7 (SUS304相当) SUSXM7 (SUS304相当) SUSXM7 (SUS304相当) SUSXM7 (SUS304相当)
代表品名 六角穴付きボルト(SUS316L/表面硬化処理) 六角穴付きボルト( ガス抜き穴つき / 表面硬化処理) 六角穴付きボルト(二硫化モリブデンコーティング) 六角穴付きボルト(低温黒色クロム処理) 六角穴付きボルト(PTFEコーティング) 六角穴付きボルト(金コーティング) 六角穴付きボルト(フッ素コーティング)
代表品番 SNSL-PN SVSL-PN SNSS-MO SNSS-RY SNSS-TF SNSS-AUS SNSS-FC
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<ゆるみ防止>
座金組み込みタイプのねじがあります。ばね座金で熱膨張を吸収し、ゆるみにくくなります。
  SVSQS_ind  SVSQLG_index SNSQLG_index
材質 SUSXM7 (SUS304相当) SUS316L SUS316L
代表品名 座金組込み六角穴付きボルト(ガス抜き穴つき) 座金組み込み高強度ステンレス六角穴付きボルト(ガス抜き穴つき) 座金組み込み高強度ステンレス六角穴付きボルト
代表品番 SVSQS SVSQLG SNSQLG
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