公開日:2022年09月20日 更新日:2024年07月30日
ヒートサイクルとは【第7回】
多くの半導体製造装置でヒートサイクルの課題があります。
ヒートサイクルのイメージ
高温環境でもご使用いただけるねじがあります。
タングステンは融点3683℃、純モリブデンは融点2623℃と高融点材料です。
その他の材質については、お問い合わせください。
<高温+真空環境>
耐熱の素材に真空装置用ガス抜き穴加工を施しています。
<かじり防止>
ヒートサイクル環境下、かじり・焼きつきにくいねじがあります。
<ゆるみ防止>
座金組込みタイプのねじがあります。ばね座金で熱膨張を吸収し、ゆるみにくくなります。
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半導体製造装置メーカ様向け課題解決事例集
ヒートサイクルとは
半導体製造装置の内部は、装置により500~1000度の高温になるものがあります。
イオン注入装置のイオン発生源や、露光装置の光源など。
また、成膜装置やエッチング装置なども、ウェハを処理する際には200~400度まで上がるものもあります。
このような装置において、温度変化をくり返すことをヒートサイクルと言います。
イオン注入装置のイオン発生源や、露光装置の光源など。
また、成膜装置やエッチング装置なども、ウェハを処理する際には200~400度まで上がるものもあります。
このような装置において、温度変化をくり返すことをヒートサイクルと言います。
NBKには高温環境・ヒートサイクルの対策で使用できるねじがあります。
<高温環境>高温環境でもご使用いただけるねじがあります。
タングステンは融点3683℃、純モリブデンは融点2623℃と高融点材料です。
その他の材質については、お問い合わせください。
材質 | タングステン | タンタル | インコネル | 純モリブデン | 炭化ケイ素(SiC) | Al2O3 (アルミナ99.5%) | ベスペル SP-1 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
代表品名 | すりわり付きチーズ小ねじ(タングステン) | 六角穴付きボルト(タンタル) | 六角穴付きボルト(インコネル相当) | モリブデン六角穴付きボルト | すりわり付き平小ねじ(炭化ケイ素) | セラミックボルト | 樹脂ねじ(ベスペルSP-1 / 六角穴付きボルト) |
代表品番 | SNCW | SNSTA | SNSI | SNSM | SICX-SX | SCX-C | SPD-C |
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<高温+真空環境>
耐熱の素材に真空装置用ガス抜き穴加工を施しています。
材質 | インコネル | 純モリブデン |
---|---|---|
代表品名 | 六角穴付きボルト(インコネル相当 / ガス抜き穴つき) | モリブデン六角穴付きボルト(ガス抜き穴つき) |
代表品番 | SVSI | SVSM |
<かじり防止>
ヒートサイクル環境下、かじり・焼きつきにくいねじがあります。
材質 | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (SUS304相当) | SUSXM7 (SUS304相当) | SUSXM7 (SUS304相当) | SUSXM7 (SUS304相当) | SUSXM7 (SUS304相当) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
代表品名 | 六角穴付きボルト(SUS316L/表面硬化処理) | 六角穴付きボルト( ガス抜き穴つき / 表面硬化処理) | 六角穴付きボルト(二硫化モリブデンコーティング) | 六角穴付きボルト(低温黒色クロム処理) | 六角穴付きボルト(PTFEコーティング) | 六角穴付きボルト(金コーティング) | 六角穴付きボルト(フッ素コーティング) |
代表品番 | SNSL-PN | SVSL-PN | SNSS-MO | SNSS-RY | SNSS-TF | SNSS-AUS | SNSS-FC |
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<ゆるみ防止>
座金組込みタイプのねじがあります。ばね座金で熱膨張を吸収し、ゆるみにくくなります。
材質 | SUSXM7 (SUS304相当) | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (SUS304相当) | SUSXM7 (SUS304相当) |
---|---|---|---|---|---|
代表品名 | 座金組込み六角穴付きボルト(ガス抜き穴つき) | 座金組込み高強度ステンレス六角穴付きボルト(ガス抜き穴つき) | 座金組込み高強度ステンレス六角穴付きボルト | 座金組込み六角穴付きボルト(I=3) | 座金組込みなべ小ねじ(I=3) |
代表品番 | SVSQS | SVSQLG | SNSQLG | SNSQS | SNPI3S |
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材質 | TW340(チタン2種) | SUS304相当 | SUS304相当 |
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代表品名 | チタン座金組込み六角穴付きボルト(I=3) | 座金組込六角ボルト(P=2) | 座金組込六角ボルト(P=3) |
代表品番 | SNSI3T | SNHP2S | SNHP3S |
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