耐熱・耐薬品・低アウトガス。半導体製造装置向けカップリングはこれで決まり!

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            ☆★ NBKニュース ★☆        No. 0449        2019.01.30
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こんにちは、「クローバー」です。
月の最終日を「みそか」と呼ぶことから、毎月30日は味噌の日なのだそう。白いご飯と
味噌汁があれば生きていける!というくらい、大の味噌汁好きのクローバー。我が家の
こだわりは、すりおろした生姜をたっぷり入れること。身体がポカポカと温まり、風邪
予防になるのでこの時期特におススメです。みなさまも、ぜひお試しください!!

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■ 半導体製造装置向けカップリングはおまかせ!
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インライン式真空蒸着装置やFPD製造装置、有機EL製造装置、真空チャンバー内などの駆動装置に!
すぐれた物理的・化学的特性を持つ「ベスペル」や「PEEK」を使用したNBKのカップリング。
チャンバー内外の軸のミスアライメント対策、アウトガス対策、耐薬品性、耐熱性、コンタミ対策、
RF電源の絶縁の用途に用いられます。

◆ミスアライメント対策、RF電源の絶縁に「オルダムタイプ」
・ベスペル製スペーサ
https://www.nbk1560.com/products/coupling/couplicon/oldham/MOHS-C/



・PEEK製スペーサ
全身がねじでできた怪獣「ネジゴン」による、ねじに関する基礎講座です。
https://www.nbk1560.com/products/coupling/couplicon/oldham/MOP-C/



◆アウトガス対策、コンタミ防止、耐薬品・耐熱性に「完全一体構造タイプ」
・PEEK製

https://www.nbk1560.com/products/coupling/couplicon/slit_type/MSXP-C/




本日はこれまで。

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