公開日:2020年05月10日

半導体製造装置(前工程)の課題を解決する

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ウェハ洗浄装置

洗浄工程

部品の腐蝕を防止したい

薬品がかかる装置内には、その環境に耐えられる耐薬品性にすぐれたねじを選定することが必要です。

特殊ねじに求められる特性:耐薬品性


耐薬品性

耐熱性

非磁性

推奨商品

樹脂ねじ

 

樹脂ねじ

SUS316Lねじ

SNSL

ハステロイねじ

 

SNSH-C22 ,SNSH-C276

セラミックねじ

 

SCX-C ,SCX-H ,SCX-N

ベスペルねじ

 

SPD-C ,SPD-H ,SPDC-C ,SPDC-H

頭部テフロンコーティングねじ


 

SNHS-HTF


耐薬品ねじについて さらに詳しい情報はこちら▶

酸化拡散装置

熱処理・酸化拡散工程

高温・薬品に強い部品が欲しい

高温下、各種ガスを使用する環境には、耐熱性・耐薬品性にすぐれたねじを選定しましょう。

特殊ねじに求められる特性:耐熱性 耐薬品性


耐熱性

耐薬品性

推奨商品

インコネルねじ

SNSI

ハステロイねじ

SNSH-C22 ,SNSH-C276


コータ・デベロッパ

成膜工程

生産能力を向上したい

ウェハへのフォトレジスト膜生成の際に高速回転させるため、高剛性のカップリングを使用しましょう。

カップリングに求められる特性:高剛性


推奨商品

ディスクカップリング

XHW-C


部品の腐蝕を防止したい

薬品がかかる装置内には、その環境に耐えられる耐薬品性にすぐれたねじを選定することが必要です。

特殊ねじに求められる特性:耐薬品性


耐熱性

耐薬品性

推奨商品

インコネルねじ

SNSI


半導体露光装置

フォトリソグラフィ工程

装置の精度を向上したい

締結部の小さなねじでも、反射の影響をおさえることで、露光の精度向上を図ることができます。

特殊ねじに求められる特性:反射防止


反射防止

耐薬品性

かじり・焼きつき防止

推奨商品

低温黒色クロム処理ねじ

SNSS-RY

ステンレスブラックねじ

SNSS-BK


反射防止ねじについてさらに詳しい情報はこちら▶


装置の剛性を高める部品を使用し、装置の応答性を向上しましょう。

駆動部品に求められる特性:高剛性


推奨商品

リニアガイド用クランプ機構

MK


エッチング装置

エッチング工程

高温・薬品に強い部品が欲しい

高温下、各種ガス・溶液を使用する環境には、耐熱性・耐薬品性にすぐれたねじを選定しましょう。

特殊ねじに求められる特性:耐熱性 耐薬品性

 

耐熱性

耐薬品性

真空

非磁性

高強度

軽量

かじり・焼きつき防止

推奨商品

セラミックねじ

         

SCX-C ,SCX-H ,SCX-N

カバーキャップ・セラミックねじ



     

SCAP-CE

ハステロイねじ

         

SNSH-C22 ,SNSH-C276

SUS316Lねじ

 

     

SNSL

チタンねじ


 

 

SNSTG

表面硬化処理ねじ


       

SNSL-PN


耐熱性ねじを詳しく見る▶

耐薬品ねじを詳しく見る▶

モータの破損を防止したい

真空可変コンデンサからの通電対策に、 絶縁性にすぐれた部品を使用することが必要です。

カップリングに求められる特性:絶縁性


推奨商品

真空可変コンデンサ用カップリング

MSXP-C-W-SP


イオン注入装置

イオン打ち込み工程

真空度を高めたい

ねじ穴にたまった空気も抜けるようにすることで、さらに真空度を高くすることができます。

特殊ねじに求められる特性:真空


 真空

 推奨商品

ガス抜き穴つきねじ

真空装置用ねじ


高温下でかじらないねじが欲しい

1000℃以上の環境下でヒートサイクルによるかじりを防止するねじがあります。

特殊ねじに求められる特性:耐熱性


耐熱性

かじり・焼きつき防止

推奨商品

表面硬化処理ねじ

表面硬化処理ねじ


装置の精度を向上したい

部品がもつ磁性でイオンが曲げられないように、締結部品においても非磁性の部品を使用しましょう。

特殊ねじに求められる特性:非磁性


非磁性

耐薬品性

高強度

軽量

推奨商品

りん青銅ねじ


 
 

SNSP

チタンねじ

SNST


成膜装置・スパッタリング装置

成膜工程

モータの破損を防止したい

真空可変コンデンサからの通電対策に、絶縁性にすぐれた部品を使用することが必要です。

カップリングに求められる特性:絶縁性


 推奨商品

真空可変コンデンサ用カップリング

MSXP-C-W-SP


高温・薬品に強い部品が欲しい

高温下、各種ガスを使用する環境には、耐熱性・耐薬品性にすぐれたねじを選定しましょう。

特殊ねじに求められる特性:耐熱性 耐薬品性


耐熱性

耐薬品性

非磁性

高強度

軽量

推奨商品

セラミックねじ

     

SCX-C ,SCX-H ,SCX-N

SUS316Lねじ

   

SNSL

モリブデンねじ

       

SNSM

ハステロイねじ

     

SNSH-C22 ,SNSH-C276

ニッケルねじ

     

SNSN

インコネルねじ

     

SNSI

チタンねじ


SNST


耐熱性ねじを詳しく見る▶

耐薬品ねじを詳しく見る▶

真空度を高めたい

ねじ穴にたまった空気も抜けるようにすることで、さらに真空度を高くすることができます。

特殊ねじに求められる特性:真空


真空

推奨商品

ガス抜き穴つきねじ

真空装置用ねじ


密閉性を高めたい

装置内部の環境を維持するために、扉・カバー類の密閉性を高められる部品を選定しましょう。

特殊ねじに求められる特性:真空


 推奨商品

ドローラッチ

A7-10-351 ,A7-10-352

コンプレッションラッチ

62-42

ヒンジ

96-AD


物理的検査装置

検査評価工程

真空度を高めたい

ねじ穴にたまった空気も抜けるようにすることで、さらに真空度を高くすることができます。

特殊ねじに求められる特性:真空


 真空

 推奨商品

ガス抜き穴つきねじ

真空装置用ねじ


検査精度をアップしたい

特殊ねじに求められる特性:非磁性


非磁性

耐熱性

耐薬品性

高強度

軽量

推奨商品

樹脂ねじ:PPS

   

SPS-C , SPS-F  ,SPS-H  ,SPS-LC  ,SPS-N  ,SPS-P  ,SPS-W

チタンねじ


SNST

りん青銅ねじ


     

SNSP


非磁性ねじについてさらに詳しい情報はこちら▶

電気的検査装置

検査評価工程

装置の精度を向上したい

サーボモーターの高ゲイン化を実現し、整定時間を短縮します。

駆動部品に求められる特性:高ゲイン対応


 推奨商品

高減衰能ゴムカップリング

XGT2


装置の剛性を高めることで、検査スピードを向上できます。

駆動部品に求められる特性:高剛性


 推奨商品

リニアガイド用クランプ機構

MK


装置を小型化したい

S0.6〜、M1〜などM2.6以下の小径のねじがあります。

特殊ねじに求められる特性:省スペース


推奨商品

微細ねじ

微細ねじ


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