【半導体製造装置】露光精度の向上に!黒色の「反射防止ねじ」

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            ☆★ NBKニュース ★☆        No. 0527        2020.09.30
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■【半導体製造装置】露光精度の向上に!黒色の「反射防止ねじ」
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半導体製造のフォトリソグラフィ工程で使われる露光装置。
装置の部品として分光反射率1.5%以下の「反射防止ねじ」を使えば、
反射による影響がおさえられ、露光精度を高めることができます。
アウトガスが少ないため、真空環境でも使用可能です。

◆ステンレスブラック
ステンレス表面の不動態皮膜を通常の200倍まで成長させて深い黒色に仕上げました。
SUS316Lと比べて8倍、SUS304と比べて32倍の耐蝕性があります。
https://www.nbk1560.com/products/specialscrew/nedzicom/antireflection/SNSS-BK/


◆低温黒色クロム処理
耐蝕性・耐薬品性・耐摩耗性にすぐれています。
潤滑性があり、ねじのかじり・焼きつき防止に適しています。
https://www.nbk1560.com/products/specialscrew/nedzicom/antireflection/SNSS-RY/

ほかにもNBKでは、半導体製造装置などの特殊環境に対応する
さまざまなねじを豊富に取り扱っています。
https://www.nbk1560.com/products/specialscrew/nedzicom/


本日はこれまで。

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