公開日:2022年04月19日

第2回 真空環境について

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半導体製造装置の多くに真空技術が使われています。
真空はすべての装置で必要というわけではなく、主にプラズマや電子ビームを使用する装置で必要になります。
真空ポンプで真空環境にする箱・部屋のことを真空チャンバと言います。

真空環境で使用されている、真空装置用ねじ特殊品の課題解決事例を紹介しています

なぜ半導体製造装置には真空が必要なのか

・不純物を減少させ、反応の質を高めるため
不純物の少ない真空中で成膜やエッチングなどの加工をすることで質の高い処理が可能になります。

・沸点を下げるため
沸点が下がることで、低い温度でウェハの処理が可能になります。
温度変化を抑えることで、ウェハが歪みにくくなります。
また、製造装置側も高温に耐える材質・仕様にする必要がなくなります。

・プラズマを発生させるため
低圧であれば、印加する電力が低くすみます。
また、さまざまなガスの種類でプラズマを発生させることができます。

真空の区分

一言で真空といっても、いくつか区分があります。
・低真空  100 kPa~100 Pa
・中真空  100 Pa~0.1 Pa
・高真空  0.1 Pa~10-⁵ Pa
・超高真空 10-⁵Pa以下

NBKには真空環境での使用に最適な商品があります


真空装置用ねじ

ねじ穴の底やキリ穴に溜まったガスの真空引きをサポートできるねじ・座金があります。

NBKの真空装置用ねじのガス抜き穴は金属組織への影響が少ない方法で加工しています。
使用時における脆性破壊や真空環境下でのアウトガスの発生を抑えます。

<豊富なラインアップ>    真空装置用ねじの全ラインアップはこちら
低アウトガス
特殊化学研磨処理により、表面粗さを改善。アウトガスが極微量です。
 
材質 SUSXM7
(SUS304相当)
チタン
代表品名 六角穴付きボルト
(ガス抜き穴つき)
チタン六角穴付きボルト
(ガス抜き穴つき)
六角穴付き極低頭ボルト
(チタン / ガス抜き穴つき)
チタン十字穴付き皿小ねじ
(ガス抜き穴つき)
チタン十字穴付きなべ小ねじ
(ガス抜き穴つき)
代表品番 SVSS-PC SVST SVSHT SVFT SVPT
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さまざまな材質
耐蝕性が高いインコネル(相当)やハステロイ(相当)、非磁性のチタンなど、幅広いラインアップがあります。

 
材質 SUS304・SUSXM7
(SUS304相当)
SUS316L
代表品名 六角穴付きボルト
(ガス抜き穴つき)
六角ボルト
(ガス抜き穴つき)
六角穴付き止めねじ
(ガス抜き穴つき)
六角穴付きボルト
(SUS316L / ガス抜き穴つき)
座金組み込み高強度ステンレス
六角穴付きボルト
(ガス抜き穴つき)
六角穴付き極低頭ボルト
(SUS316L / ガス抜き穴つき)
代表品番 SVSS SVHS SVTS SVSL SVSQLG SVSHL

ラインアップはこちら ラインアップはこちら

 

 
材質 インコネル相当 純モリブデン ハステロイ相当 アルミ チタン
代表品名 六角穴付きボルト
(インコネル相当 / ガス抜き穴つき)
モリブデン六角穴付きボルト
(ガス抜き穴つき)
六角穴付きボルト
(ハステロイ C-22相当 / ガス抜き穴つき)
六角穴付きボルト
(ハステロイ C-276相当 / ガス抜き穴つき)
アルミ六角穴付きボルト
(ガス抜き穴つき)
チタン六角穴付きボルト
(ガス抜き穴つき)
代表品番 SVSI SVSM SVSH-C22 SVSH-C276 SVSA SVST
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さまざまな形状
低頭ボルトや座金組み込みタイプ、クランピングスクリューなど幅広いラインアップがあります。
   
形状例 低頭ボルト 極低頭ボルト 六角支柱 クランピングスクリュー 座金組み込み 座金
代表品名 六角穴付き低頭ボルト
(ガス抜き穴つき)
六角穴付き極低頭ボルト
(ガス抜き穴つき)
六角支柱
(ガス抜き穴つき)
クランピングスクリュー
(ガス抜き穴つき)
座金組み込み高強度ステンレス六角穴付きボルト
(ガス抜き穴つき)
座金(ガス抜き溝つき)
代表品 SVLS
SVSHS SHVAS SCSS-VR SVSQLG SWAS-VF
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かじり、焼きつき対策
かじり・焼きつき対策に最適な商品があります。

 
材質 SUS316L SUSXM7(SUS304相当)
SUSXM7(SUS304相当)
代表品名 六角穴付きボルト
ガス抜き穴つき/ 表面硬化処理)
六角穴付きボルト (ガス抜き穴つき/ 二硫化モリブデンショット) 六角穴付きボルト (ガス抜き穴つき/ 銀メッキ)
代表品番 SVSL-PN SVSS-MOS SVSS-AG

ラインアップはこちら
こちらで、かじり・焼きつきについて解説しています

真空装置用ねじの全ラインアップはこちら

真空装置用ねじ特殊品の課題解決事例はこちらから

低アウトガス商品

真空装置用ねじ以外にも、低アウトガスのねじ・カップリングがあります。
ねじ
 
材質 SPD-C SPDC-H SPE-C
代表品名 ベスペル SP-1 ベスペル SCP-5000 PEEK
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カップリング

クリーンルーム、真空中、高温(80℃以上)などの特殊環境に使用できるカップリングをご用意しています。

タイプ スリット オルダム ディスク
写真 クリーン・真空・耐熱対応カップリング - スリットタイプ(SUS316L) - クランピングタイプ クリーン・真空・耐熱対応カップリング - スリットタイプ(SUS316L) - クランピングタイプ クリーン・真空・耐熱対応カップリング - スリットタイプ(PEEK) - クランピングタイプ クリーン・真空・耐熱対応カップリング - オルダムタイプ(ベスペル) - クランピングタイプ クリーン・真空・耐熱対応カップリング- オルダムタイプ(PEEK) - クランピングタイプ フレキシブルカップリング-ディスクタイプ-クランピングタイプ フレキシブルカップリング-シングルディスクタイプ-クランピングタイプ
品番 XSTS XWSS MSXP MOHS MOP XBWS XBSS
材質 SUS316L SUS316L PEEK SUS303
べスペル**
SUSXM7
A2017
PEEK
SUSXM7
SUS303
SUSXM7
SUS303
SUSXM7
洗浄方法 超音波洗浄 超音波洗浄 超音波洗浄 超音波洗浄 超音波洗浄 超音波洗浄 超音波洗浄
低パーティクル
真空対応
低アウトガス
耐熱
耐薬品
バックラッシュ0    
高トルク      
高ねじり剛性          
許容
ミスアライメント
 

:非常に優れている ○:すぐれている △:摩耗粉が発生する可能性があります。
XBWS XBSS は未洗浄品です。ご要望によりクリーン洗浄・クリーン梱包できます。
**ベスペルは米国デュポン社の登録商標です。

詳細はこちら

真空環境に最適な機械要素部品

・ラッチ
気密性を守る、堅牢なデザインのラッチがあります。
梃子の動作を利用し、しっかりとガスケットを押しつぶしながらラッチングすることができます。
気密性の高い扉にもご使用いただけます。

・扉を開ける際、内圧により扉を開けるのに力が必要な場合でも梃子の動作を利用し、簡単に扉を開くことができます
・ラッチとキーパーの取りつけは、扉に穴をあけてはめ込むのではなく、扉の前面にねじ止めするので、穴をあける必要がありません。
そのため、気密性を保つことが可能です。

商品詳細はこちら


・ヒンジ
真空チャンバの蓋など、重たいパネルの上下の開閉を、トーションばねの作用により補助します。

商品詳細はこちら

 

クリーン洗浄・クリーン梱包サービス

そのまま真空チャンバ内やクリーンルームでご使用いただけるよう、クリーン洗浄・クリーン梱包ができます。

半導体製造工程別の課題解決事例

半導体製造工程別の課題解決事例を紹介します。
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半導体業界とNBKのバックナンバー

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商品紹介 クリーン・真空・非磁性 かじり・焼きつき防止 半導体製造装置 半導体業界とNBK カップリング 特殊ねじ 機械要素部品
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